Вакуумната помпа се отнася до устройство или оборудване, което използва механичен, физичен, химичен или физико-химичен метод за евакуиране на изпомпван контейнер, за да се получи вакуум. Най-общо казано, вакуумната помпа е устройство, което използва различни методи за подобряване, генериране и поддържане на вакуум в затворено пространство.
Според принципа на работа на вакуумните помпи, вакуумните помпи могат основно да бъдат разделени на два типа, а именно помпи за улавяне на газ и помпи за пренос на газ. Той се използва широко в металургията, химическата промишленост, храната, електронните покрития и други индустрии.
Двата ротора на вакуумната помпа са относително синхронизирани от двойка високопрецизни зъбни колела. Задвижващият вал е свързан към двигателя чрез съединител. Има два основни типа разположение на задвижващата структура: едното е, че моторът и предавката са поставени от една и съща страна на ротора, както е показано на фигурата. Задвижваният ротор се задвижва директно от предавката в края на двигателя. По този начин деформацията на усукване на вала на задвижващия ротор е малка и пролуката между двата ротора няма да се промени поради голямата деформация на усукване на задвижващия вал, така че пролуката между роторите работи. Процесът е равномерен. Най-големите недостатъци на този метод на предаване са: a. На задвижващия вал има три лагера, което увеличава трудностите при обработката и монтажа на помпата, а разглобяването и регулирането на предавката е неудобно; b. Цялостната структура е неравна и центърът на тежестта на помпата е изместен към страната на двигателя и скоростната кутия.
(1) Има голяма скорост на изпомпване в широк диапазон на налягането;
(2) Роторът има добра геометрична симетрия, така че вибрациите са малки и работата е стабилна. Има празнина между роторите и между ротора и корпуса. Не е необходимо смазване и загубата от триене е малка. Задвижващата мощност може да бъде значително намалена, така че да може да се постигне по-висока скорост.
(3) Няма нужда да се запечатва и смазва с масло в кухината на помпата, което може да намали замърсяването на вакуумната система от маслени пари;
(4) Няма компресия в кухината на помпата и няма изпускателен клапан. Проста и компактна конструкция, нечувствителна към прах и водни пари в изпомпвания газ;
(5) Компресията е относително ниска и ефектът от изпомпването на водороден газ е слаб;
(6) Повърхността на ротора е по-сложна извита цилиндрична повърхност, която е трудна за обработка и проверка.